Эти картриджные нагреватели специально разработаны для использования в оборудовании для обработки пластин, где они должны работать непрерывно при температуре до 600 градусов в чистых помещениях. Японскому клиенту, крупному игроку в отрасли оборудования для производства полупроводников, требовались нагреватели с исключительной термической стабильностью и чрезвычайно низкими характеристиками газовыделения для поддержания сверх-чистых условий, необходимых для производства чипов. Наша техническая группа разработала специальную конструкцию с использованием материала оболочки из нержавеющей стали 310S, выбранного из-за ее превосходной -стойкости к окислению при высоких температурах, и специального изоляционного материала из оксида магния с низким-выделением газов.
Производство этих высокотемпературных-нагревателей включает в себя несколько специализированных процессов. Резистивная проволока, изготовленная из сплава железа-железа-хрома-алюминия высокой чистоты, намотана с точным контролем шага, чтобы обеспечить равномерное выделение тепла по всей длине нагрева. Намотанный узел вставляется в трубки из нержавеющей стали 310S, которые подвергаются специальной внутренней полировке для удаления любых поверхностных загрязнений, которые могут способствовать выделению газа. Процесс наполнения MgO происходит в среде с контролируемой влажностью, чтобы предотвратить поглощение влаги, которое может привести к выделению газов во время работы при высоких-температурах. После наполнения трубы обжимаются для достижения необходимой плотности уплотнения, затем подвергаются высокотемпературному-процессу отжига в вакуумной печи для удаления остаточной влаги и стабилизации внутренней структуры.
